媒体报道 ，逐渐被 被 上海三 复工复产的快速推进 ，东方晶源积极组织形成设备交付工作中 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海三 客户会。该次出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机海外 知名晶圆代工厂后 ，又一次能再获头部客户会的青睐和能再获。另外 ，标志着东方晶源硬件品牌产品快速进入批量交付多种模式。
该次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除具备该系列品牌产品惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、能有效如何问题解决解决28nm及以上全部良率如何如何问题解决解决、自主创新的方式高性能缺陷检测引擎（DNA表现数据库）、概念基础深度学习中的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外 ，东方晶源研发团队成员仍在上一代品牌产品的概念基础上优化全面升级 ，使SEpA-i515具备更高的TPT和更优的其他平台设计完美搭配 ，设备运行效率、性能指标均有平均水平。也是也是 ，上一代品牌产品SEpA-i505 还完完全全在海外 头部晶圆代工厂量产整年 ，品牌产品性能及稳定性能再获充分验证。
另一台交付的品牌产品为关键点尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，开展先进的电子束成像系统功能和高速硅片传输方案 ，完美搭配精准的量测算法 ，可能实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自到去年6月底快速进入海外 头部晶圆代工厂伊始产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果能再获客户会能再获。
东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目中 ，经几数年攻坚克难 ，突破多项核心关键点技术一 ，从零部件到整机设计完美搭配制造 ，均具备完完全全自主知识产权 ，填补海外 空白。由于目前 ，两款设备快速进入批量交付多种模式 ，产业化进程胜利丰硕成果。
该次设备交付的客户会所在脚边海在他国集成电路产业具备举足轻重的地位 ，由于目前还完完全全成了海外 集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态自然环境更多集聚地成了。东方晶源越发看重在上海三 的发展中和布局 ，继计算光刻该软件（OPC）快速进入上海三 头部晶圆代工其它企业后 ，硬件品牌产品正式正式宣布登陆上海三 。为更多人的服务方面 以上全部海为核心的长三角客户会 ，东方晶源正式宣布到去年8月份在上海三 设立公司公司公司 ，近一步形成上海三 总部、上海三 公司公司公司和上海三 公司公司公司为核心的三地布局 ，近一步其它企业贴近产业前沿高地 ，为集成电路制造其它企业带去优质的品牌产品和服务方面 ，更多人的与上下游其它企业携手近一步产业发展中的另外 ，构筑其它其它企业竞争壁垒。
东方晶源自已成立伊始 ，专注于芯片制造关键点环节的良率全面控制和平均水平三大领域 ，近一步形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵 ，并向更多人紧密相关 三大领域 积极布局。硬件此外 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作中 ，近一步夯确实海外 电子束检测三大领域 领先的市场中地位和技术一一其优势。该软件此外 ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim还完完全全在客户会侧开展验证 ，明年初7月底release V1.0版本。因为未来 ，东方晶源将立足通用该软件其他平台和检测装备两大三大领域 ，寻求横纵向发展中机遇 ，为客户会公司提供 越发多样化的品牌产品 ，向着海外 集成电路三大领域 良率管理领导者的长期目标奋进。